光刻機用冷水機組的安裝要求有哪些

光刻機用冷水機組的安裝要求有哪些

　　為確保光刻機用冷水機組的靠譜及正常運行，防止不適當的水配管路施工造成的冷水機故障，安裝本機組時應注意下列事項：

　　光刻機用冷水機組的電源注意事項

　　1、光刻機用冷水機組電源采用三相四線、電源線接電源火線，接零線，（G）接地線。

　　2、光刻機用冷水機組用主電源線線電控箱上的穿孔連接在箱內接柱上，保證連接緊固。

　　3、機組配電要求：主電源電壓：額定電壓范圍以內。

　　4、主電源電壓波動超過規定范圍時，不準起動冷水機、否則視作操作不當，由此引起的損壞不在本公司保養范圍之內。

　　5、水系統之水流開關、水泵、冷卻水塔電機等聯鎖電路必要時可正確連接在機組控制電路中。

　　6、光刻機用冷水機組設有電流過載保護、壓縮機排氣端之高低壓保護，馬達線圈過熱保護、防冰保護，冷卻水之水流連鎖保護等多種措施，切勿擅自改動、如需改動請與廠家聯絡。

　　光刻機用冷水機組的安裝注意事項

　　1、吊運安裝光刻機用冷水機組時注意不要損壞機組，合理布局光刻機用冷水機組周圍空間，以方便維修保養光刻機用冷水機組。

　　2、按照對配管系統設計及施工安裝的要求，合理設計和安裝凍水及冷卻水系統，以充分發揮光刻機用冷水機組性能。

　　3、機組應水平放置，及安裝在通風位置。

　　4、根據機組制冷能力選用匹配的冷卻塔。

　　5、機組配管請參照本公司建議之配管方法安裝施工。

　　6、水源及散熱水塔周圍環境惡劣時，冷凍水和冷卻水回路須安裝Y型過濾器及定時清理，封閉冷凍水系統較高處須安裝自動排氣閥、系統較低處安裝排水接頭，以系統排水用。

7、冷凍水管路系統通過試漏后，包保溫層，避免冷量散失及管路滴水。